ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯕ ꯐꯤꯜꯃꯒꯤ ꯃꯦꯟꯌꯨꯐꯦꯀꯆꯔꯤꯡ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ
ꯄꯥꯎꯖꯦꯜ ꯑꯃꯥ ꯊꯥꯗꯣꯀꯎ
ꯇꯦꯛꯅꯣꯂꯣꯖꯤꯒꯤ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯊꯧꯑꯣꯡ ꯑꯃꯥ [...]
ꯒ꯭ꯔꯣꯊ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯂꯁꯤꯡ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯒ꯭ꯌꯥꯁ ꯁꯣꯔꯁꯁꯤꯡ ꯄꯤꯕꯥ: ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯚ ꯐꯤꯜꯃ, ꯍꯥꯌꯕꯗꯤ SIOꯒꯨꯝꯕꯥ ꯑꯦꯃꯕꯣꯗꯤꯌꯝ ꯈꯔꯗꯥ ꯒ꯭ꯔꯣꯊ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯂꯁꯤꯡ ꯄꯤꯕꯥ, ꯑꯗꯨꯒꯥ ꯒ꯭ꯔꯣꯊ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯂꯁꯤꯡꯒꯥ ꯃꯥꯟꯅꯕꯥ ꯒ꯭ꯌꯥꯁ ꯁꯣꯔꯁꯁꯤꯡ, ꯍꯥꯌꯕꯗꯤ SIH ₄, N ₂ O, ꯑꯃꯁꯨꯡ N ₂ ꯒ꯭ꯌꯥꯁ ꯁꯣꯔꯁ ꯀꯝꯕꯤꯅꯦꯁꯅꯁꯤꯡ ꯄꯤꯕꯥ꯫
ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯁꯦꯝꯕꯥ: ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯂꯦꯌꯥꯔꯗꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯐꯤꯜꯃꯒꯤ ꯌꯥꯃꯗ꯭ꯔꯕꯗꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯑꯅꯤ ꯁꯤꯀꯨꯑꯦꯟꯁꯤꯑꯦꯜ ꯑꯣꯏꯅꯥ ꯁꯦꯝꯅꯕꯒꯤꯗꯃꯛ ꯆꯞ ꯃꯥꯟꯅꯕꯥ ꯒ꯭ꯔꯣꯊ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯜ ꯑꯗꯨ ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯧ꯫ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯑꯗꯨꯗꯥ SIO ꯂꯦꯌꯥꯔ, Si ꯂꯦꯌꯥꯔ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯦꯕꯁꯣꯔꯁꯃꯦꯟꯇ ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯑꯁꯤ ꯐꯤꯜꯃ ꯒ꯭ꯔꯣꯊꯀꯤ ꯃꯥꯌꯀꯩꯒꯥ ꯃꯥꯟꯅꯅꯥ ꯌꯥꯎꯕꯥ ꯌꯥꯏ꯫ -ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯅꯤ (ꯑꯍꯥꯅꯕꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯅꯤꯁꯨꯕꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯂꯦꯌꯔ) ꯑꯁꯤ ꯈꯨꯗꯝ ꯑꯃꯥ ꯑꯣꯏꯅꯥ ꯂꯧꯗꯨꯅꯥ, ꯃꯁꯤ ꯏꯄꯤꯇꯦꯛꯁꯤꯑꯦꯜ ꯒ꯭ꯔꯣꯊ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ (ꯄ꯭ꯂꯥꯖꯃꯥ ꯑꯦꯅꯍꯥꯟꯁꯗ ꯀꯦꯃꯤꯀꯦꯜ ꯚꯦꯄꯣꯔ ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯃꯦꯊꯗ PECVDꯒꯨꯝꯕꯥ)ꯅꯥ ꯁꯦꯝꯕꯅꯤ꯫ ꯑꯀꯛꯅꯕꯥ ꯈꯣꯡꯊꯥꯡꯁꯤꯡ ꯑꯁꯤ ꯃꯈꯥꯗꯥ ꯄꯤꯔꯤ:
ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁꯤꯡ: ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯂꯦꯌꯥꯔꯗꯥ ꯁꯦꯃꯤꯀꯟꯗꯨꯛꯇꯔ ꯀ꯭ꯂꯤꯅꯤꯡ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁꯀꯤ ꯃꯇꯨꯡꯗꯥ, ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯑꯗꯨ CVD ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯏꯛꯌꯨꯏꯄꯃꯦꯟꯇ ꯑꯗꯨꯗꯥ ꯊꯝꯃꯨ꯫
ꯏꯛꯕꯤꯄꯃꯦꯟꯇ ꯄꯦꯔꯥꯃꯤꯇꯔ ꯁꯦꯇꯤꯡꯁꯤꯡ: ꯁꯤ.ꯚꯤ.ꯗꯤ.ꯒꯤ ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯏꯛꯕꯤꯄꯃꯦꯟꯇꯁꯤꯡꯒꯤ ꯑꯋꯥꯡꯕꯥ ꯏꯂꯦꯛꯠꯔꯣꯗ ꯇꯦꯝꯄꯦꯔꯦꯆꯔ ꯑꯗꯨ ꯗꯤꯒ꯭ꯔꯤ ꯲꯰꯰-꯳꯰꯰ꯗꯥ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯃꯈꯥ ꯊꯪꯕꯥ ꯏꯂꯦꯛꯠꯔꯣꯗ ꯇꯦꯝꯄꯦꯔꯦꯆꯔ ꯑꯗꯨ ꯲꯵꯰-꯳꯵꯰ ꯗꯤꯒ꯭ꯔꯤꯗꯥ ꯀꯟꯠꯔꯣꯜ ꯇꯧꯕꯥ .
ꯑꯍꯥꯅꯕꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯂꯦꯌꯔꯒꯤ ꯒ꯭ꯔꯣꯊ: ꯁꯤ.ꯚꯤ.ꯗꯤ.ꯒꯤ ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯏꯛꯕꯤꯄꯃꯦꯟꯇꯁꯤꯡꯒꯤ ꯑꯍꯥꯅꯕꯥ ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯄꯦꯔꯥꯃꯤꯇꯔꯁꯤꯡ, ꯁꯤ.ꯑꯥꯏ.ꯑꯩꯆ. ꯱.꯴-꯱.꯷꯱ꯗꯥ ꯌꯥꯑꯣꯔꯤ꯫
ꯑꯅꯤꯁꯨꯕꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯃꯒꯤ ꯒ꯭ꯔꯣꯊ: ꯁꯤ.ꯚꯤ.ꯗꯤ.ꯒꯤ ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯏꯛꯕꯤꯄꯃꯦꯟꯇꯁꯤꯡꯒꯤ ꯑꯅꯤꯁꯨꯕꯥ ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯄꯦꯔꯥꯃꯤꯇꯔꯁꯤꯡ, ꯁꯤ.ꯑꯥꯏ.ꯑꯩꯆ.ꯒꯤ ꯑꯅꯤꯁꯨꯕꯥ ꯚꯣꯜꯌꯨꯝ ꯐ꯭ꯂꯣ ꯔꯦꯠ, n ₂ o, ꯑꯃꯁꯨꯡ n ₂, ꯑꯅꯤꯁꯨꯕꯥ ꯒ꯭ꯌꯥꯁ ꯄ꯭ꯔꯦꯁꯔ, ꯁꯤ.ꯚꯤ.ꯗꯤ.ꯒꯤ ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯏꯛꯕꯤꯄꯃꯦꯟꯇꯀꯤ ꯑꯅꯤꯁꯨꯕꯥ ꯑꯥꯔ.ꯑꯦꯐ. ꯔꯤꯐ꯭ꯔꯦꯛꯇꯤꯕ ꯏꯟꯗꯦꯛꯁ ꯔꯦꯟꯖ ꯑꯁꯤ ꯱.꯴-꯱.꯷꯱ꯅꯤ꯫
ꯇꯦꯛꯅꯣꯂꯣꯖꯤꯒꯤ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯀꯥꯟꯅꯕꯥ ꯐꯪꯕꯁꯤꯡ .
ꯆꯞ ꯃꯥꯟꯅꯕꯥ ꯒ꯭ꯔꯣꯊ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯜ ꯑꯁꯤ ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯗꯨꯅꯥ, ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯐꯤꯜꯃ ꯑꯁꯤꯅꯥ ꯇꯣꯉꯥꯟ ꯇꯣꯉꯥꯅꯕꯥ ꯃꯆꯥꯀꯁꯤꯡꯒꯤ ꯁ꯭ꯇꯦꯛ ꯇꯧꯔꯕꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯐꯤꯜꯃꯁꯤꯡꯒꯥ ꯆꯥꯡꯗꯝꯅꯕꯗꯥ ꯆꯞ ꯃꯥꯟꯅꯕꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯏꯐꯦꯛꯇ ꯑꯗꯨ ꯐꯪꯕꯥ ꯉꯃꯒꯅꯤ, ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯔꯤꯕꯥ ꯒ꯭ꯌꯥꯁꯀꯤ ꯁꯣꯔꯁꯁꯤꯡꯒꯤ ꯃꯈꯂꯁꯤꯡ ꯍꯟꯊꯍꯜꯂꯤ, ꯁꯦꯝ ꯁꯥꯕꯒꯤ ꯊꯧꯑꯣꯡꯒꯤ ꯑꯋꯥꯕꯥ ꯍꯟꯊꯍꯜꯂꯤ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯁꯦꯝ ꯁꯥꯕꯒꯤ ꯊꯧꯑꯣꯡꯒꯤ ꯃꯅꯨꯡꯗꯥ ꯒ꯭ꯌꯥꯁ ꯁꯣꯔꯁꯁꯤꯡ ꯊꯝꯅꯕꯥ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯕꯅꯥ ꯃꯔꯝ ꯑꯣꯏꯗꯨꯅꯥ ꯁꯦꯝ ꯁꯥꯕꯒꯤ ꯃꯐꯝ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯊꯕꯛ ꯇꯧꯕꯒꯤ ꯃꯐꯝ ꯍꯦꯅꯒꯠꯍꯅꯕꯥ ꯉꯃꯒꯅꯤ꯫
ꯍꯥꯏꯕ꯭ꯔꯤꯗ ꯁꯤꯑꯣ ₂/ꯇꯤꯑꯣ ₂ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯕ ꯐꯤꯜꯃꯒꯤ ꯃꯦꯟꯌꯨꯐꯦꯀꯆꯔꯤꯡ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ
ꯇꯦꯛꯅꯣꯂꯣꯖꯤꯒꯤ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯊꯧꯑꯣꯡ ꯑꯃꯥ [...]
ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯁꯦꯝꯕꯥ: ꯒ꯭ꯂꯥꯁ, ꯑꯣꯔꯒꯥꯅꯤꯛ ꯒ꯭ꯂꯥꯁ, ꯄꯣꯂꯤꯏꯃꯥꯏꯗ ꯐꯤꯜꯃ, ꯑꯁꯤꯅꯆꯤꯡꯕꯥ ꯇ꯭ꯔꯥꯟꯁꯄꯔꯦꯟꯇ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯇꯁꯤꯡ ꯈꯜꯂꯨ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯁꯦꯡꯅꯥ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯃꯩꯁꯥ-ꯐ꯭ꯔꯤ ꯁꯔꯐꯦꯁ ꯑꯃꯥ ꯁꯣꯌꯗꯅꯥ ꯂꯩꯍꯟꯅꯕꯥ ꯁ꯭ꯇꯦꯟ ꯂꯧꯊꯣꯀꯄꯒꯤ ꯂꯥꯏꯌꯦꯡ ꯄꯥꯡꯊꯣꯀꯎ꯫ ꯀꯔꯤꯒꯨꯝꯕꯥ ꯃꯊꯧ ꯇꯥꯔꯕꯗꯤ, ꯁꯤꯉ꯭ꯒꯜ-ꯁꯥꯏꯗ ꯅꯠꯠꯔꯒꯥ ꯗꯕꯜ-ꯁꯤꯗ ꯄꯣꯂꯤꯁꯤꯡ ꯑꯁꯤ ꯂꯥꯏꯠ ꯇ꯭ꯔꯥꯟꯁꯃꯤꯁꯟ ꯏꯐꯤꯁꯤꯑꯦꯟꯁꯤ ꯐꯒꯠꯍꯟꯅꯕꯥ ꯄꯥꯡꯊꯣꯀꯄꯥ ꯌꯥꯏ꯫
ꯐꯤꯜꯃ ꯄ꯭ꯔꯤꯀꯔꯁꯔ ꯁꯦꯝ ꯁꯥꯕꯥ: ꯇꯦꯠꯔꯥꯏꯊꯣꯛꯁꯤꯁꯤꯂꯦꯟ (ꯇꯤ.ꯏ.ꯑꯣ.ꯑꯦꯁ.) ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯇꯦꯠꯔꯥꯕꯨꯇꯤꯜ ꯇꯥꯏꯇꯥꯅꯦꯠ (ꯇꯤ.ꯕꯤ.ꯇꯤ.) ꯑꯁꯤ ꯑꯀꯛꯅꯕꯥ ꯆꯥꯡ ꯑꯃꯗꯥ nh ₄ ꯑꯣ.ꯑꯩꯆ.ꯅꯥ ꯌꯥꯑꯣꯕꯥ ꯏꯊꯥꯅꯣꯂꯗꯥ ꯍꯥꯄꯆꯤꯜꯂꯤ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯔꯤꯑꯦꯛꯁꯟ ꯑꯁꯤ ꯇ꯭ꯔꯥꯟꯁꯄꯔꯦꯟꯇ ꯁꯣꯜ - ꯖꯦꯜ ꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯝ ꯑꯃꯥ ꯐꯪꯅꯕꯒꯤꯗꯃꯛ ꯄꯨꯡ ꯹- ꯄꯨꯡ ꯱꯲ꯒꯤ ꯑꯣꯏꯅꯥ ꯊꯝꯃꯤ꯫
ꯀꯣꯇꯤꯡ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯀ꯭ꯌꯨꯔꯤꯡ: ꯁꯦꯝ-ꯁꯥꯔꯕꯥ ꯁꯣꯜ ꯖꯦꯜ ꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯝ ꯑꯁꯤ ꯇ꯭ꯔꯥꯟꯁꯄꯔꯦꯟꯇ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯑꯗꯨꯗꯥ ꯆꯞ ꯃꯥꯟꯅꯅꯥ ꯀꯣꯇꯤꯡ ꯇꯧꯏ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯁ꯭ꯄꯤꯟ ꯀꯣꯇꯤꯡ, ꯁ꯭ꯞꯔꯦ ꯇꯧꯕꯥ, ꯕ꯭ꯔꯥꯁ ꯇꯧꯕꯥ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯇꯩ ꯁ꯭ꯀꯤꯃꯁꯤꯡ ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯕꯥ ꯌꯥꯏ꯫ ꯀꯣꯇꯤꯡ ꯇꯧꯔꯕꯥ ꯃꯇꯨꯡꯗꯥ, ꯍꯥꯏꯕ꯭ꯔꯤꯗ SIO ₂/Tio ₂ ꯐꯤꯜꯃ ꯄ꯭ꯔꯤꯀꯔꯁꯔ ꯑꯁꯤ ꯀ꯭ꯌꯨꯔꯤꯡ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯦꯅꯤꯂꯤꯡ ꯇ꯭ꯔꯤꯠꯃꯦꯟꯇꯀꯤꯗꯃꯛ ꯑꯣꯚꯔ ꯑꯃꯗꯥ ꯊꯝꯃꯤ, ꯃꯁꯤꯅꯥ ꯃꯜꯇꯤ-ꯂꯦꯌꯔ ꯁ꯭ꯠꯔꯀꯆꯔ ꯑꯃꯥ ꯁꯦꯝꯃꯤ꯫
ꯁꯔꯀꯨꯂꯥꯔ ꯀꯣꯇꯤꯡ: ꯑꯄꯥꯝꯕꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯚ ꯏꯐꯦꯛꯇ ꯑꯗꯨ ꯐꯪꯗ꯭ꯔꯤꯐꯥꯎꯕꯥ ꯀꯣꯇꯤꯡ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯀ꯭ꯌꯨꯔꯤꯡ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ ꯑꯗꯨ ꯍꯟꯖꯤꯟ ꯍꯟꯖꯤꯟ ꯇꯧ꯫ ꯇꯣꯉꯥꯟ ꯇꯣꯉꯥꯅꯕꯥ ꯀꯣꯇꯤꯡꯒꯤ ꯃꯇꯝ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯁꯤꯛꯕꯦꯟꯁꯁꯤꯡꯅꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯕ ꯐꯤꯜꯃꯁꯤꯡꯒꯤ ꯄꯔꯐꯣꯃꯦꯟꯁꯇꯥ ꯑꯀꯥꯌꯕꯥ ꯄꯤꯒꯅꯤ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯔꯤꯁꯔꯆ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯣꯞꯇꯤꯃꯥꯏꯖꯦꯁꯟ ꯃꯊꯧ ꯇꯥꯏ꯫
ꯁꯔꯐꯦꯁ ꯇ꯭ꯔꯤꯠꯃꯦꯟꯇ: ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯕ ꯐꯤꯜꯃꯒꯤ ꯇꯨꯡ ꯀꯣꯏꯅꯥ ꯆꯠꯄꯥ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯇꯪꯗꯨ ꯂꯩꯇꯥꯕꯥ ꯍꯦꯅꯒꯠꯍꯟꯅꯕꯥ, ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯕ ꯐꯤꯜꯃꯒꯤ ꯃꯊꯛꯇꯥ ꯍꯥꯏꯗ꯭ꯔꯣꯐꯤꯂꯤꯛ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯍꯥꯏꯗ꯭ꯔꯣꯐꯣꯕꯤꯛ ꯄꯣꯂꯤꯃꯔꯒꯤ ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯃꯥ ꯀꯣꯠꯄꯥ ꯌꯥꯏ꯫
ꯏꯅꯐ꯭ꯔꯥꯔꯦꯗ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯕ ꯐꯤꯜꯃꯒꯤ ꯃꯦꯟꯌꯨꯐꯦꯀꯆꯔꯤꯡ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ
ꯇꯦꯛꯅꯣꯂꯣꯖꯤꯒꯤ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯊꯧꯑꯣꯡ ꯑꯃꯥ [...]
ꯏꯅꯐ꯭ꯔꯥꯔꯦꯗ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯐꯤꯜꯃ ꯑꯁꯤ ꯁꯤꯂꯤꯀꯣꯅꯗꯥ ꯌꯨꯝꯐꯝ ꯑꯣꯏ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠꯀꯤ ꯃꯥꯏꯀꯩ ꯑꯅꯤꯃꯛꯇꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯐꯤꯜꯃꯁꯤꯡꯅꯥ ꯀꯣꯠꯂꯤ꯫ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯐꯤꯜꯃꯒꯤ ꯐꯤꯜꯃ ꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯝ ꯁ꯭ꯠꯔꯀꯆꯔ ꯑꯁꯤ ꯑꯃꯒꯥ ꯑꯃꯒꯥ (HL) ^ s ꯑꯣꯏꯅꯥ ꯃꯅꯤꯡꯇꯝꯅꯥ ꯂꯩ, ꯃꯐꯝ ꯑꯗꯨꯗꯥ Hꯅꯥ Si ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯗꯨ ꯔꯤꯞꯔꯖꯦꯟꯇ ꯇꯧꯏ, lꯅꯥ Sio ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯗꯨ ꯔꯤꯞꯔꯖꯦꯟꯇ ꯇꯧꯏ, Sꯅꯥ HL ꯕꯦꯁꯤꯛ ꯁ꯭ꯠꯔꯀꯆꯔꯒꯤ ꯃꯇꯝ ꯑꯗꯨ ꯔꯤꯞꯔꯖꯦꯟꯇ ꯇꯧꯏ, ꯑꯃꯁꯨꯡ Sꯒꯤ ꯚꯦꯜꯌꯨ ꯑꯁꯤ 3-6ꯒꯤ ꯃꯔꯛꯇꯥ ꯂꯩꯕꯥ ꯏꯟꯇꯤꯖꯔ ꯑꯃꯅꯤ꯫ Si ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯑꯁꯤ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯑꯗꯨꯒꯥ ꯅꯛꯅꯅꯥ ꯂꯩ, ꯑꯃꯁꯨꯡ SiO ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯑꯗꯨ ꯃꯊꯛꯇꯥ ꯂꯩ꯫ ꯀꯣꯇꯤꯡ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ ꯑꯁꯤ ꯐꯤꯜꯃ ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯁꯤ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠꯇꯥ ꯊꯥꯕꯗꯥ ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯩ, ꯃꯁꯤꯗꯥ ꯁꯤ.ꯑꯥꯏ.ꯑꯣ.ꯒꯤ ꯐꯤꯜꯃ ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯁꯤ ꯈ꯭ꯕꯥꯏꯗꯒꯤ ꯃꯄꯥꯅꯒꯤ ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯣꯏꯅꯥ ꯌꯥꯑꯣꯏ, ꯃꯁꯤꯅꯥ ꯑꯋꯥꯡꯕꯥ ꯁꯔꯐꯦꯁ ꯍꯥꯔꯗꯅꯦꯁ ꯂꯩ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯍꯦꯅꯕꯥ ꯄ꯭ꯔꯣꯇꯦꯛꯇꯤꯕ ꯂꯦꯌꯔ ꯑꯃꯥ ꯃꯊꯧ ꯇꯥꯗꯦ꯫ ꯃꯁꯤꯒꯤ ꯃꯊꯛꯇꯥ, ꯑꯦꯁ.ꯑꯥꯏ.ꯑꯣ.ꯅꯥ ꯔꯤꯐ꯭ꯔꯦꯛꯇꯤꯕ ꯏꯟꯗꯦꯛꯁ ꯍꯦꯟꯅꯥ ꯅꯦꯝꯅꯥ ꯂꯩ, ꯃꯁꯤꯅꯥ ꯁꯔꯐꯦꯁ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯕꯤꯇꯤ ꯍꯟꯊꯍꯅꯕꯥ ꯉꯃꯒꯅꯤ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯏꯅꯐ꯭ꯔꯥꯔꯦꯗ ꯇ꯭ꯔꯥꯟꯁꯃꯤꯇꯦꯟꯁ ꯃꯈꯥ ꯇꯥꯅꯥ ꯍꯦꯅꯒꯠꯍꯅꯕꯥ ꯉꯃꯒꯅꯤ꯫
ꯑꯋꯥꯡꯕꯥ-ꯇꯦꯝꯄꯦꯔꯦꯆꯔ ꯔꯦꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯟꯇ ꯀꯣ ₂ ꯂꯦꯖꯔ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯇꯤꯕ ꯐꯤꯜꯃꯒꯤ ꯃꯦꯟꯌꯨꯐꯦꯀꯆꯔꯤꯡ ꯄ꯭ꯔꯣꯁꯦꯁ
ꯇꯦꯛꯅꯣꯂꯣꯖꯤꯒꯤ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯊꯧꯑꯣꯡ ꯑꯃꯥ [...]
ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯜ ꯄ꯭ꯔꯤ ꯃꯦꯜꯇꯤꯡ: ꯇꯣꯉꯥꯅꯕꯥ ꯄ꯭ꯔꯤ ꯃꯦꯜꯇꯤꯡ ꯇ꯭ꯔꯤꯠꯃꯦꯟꯇ ꯑꯁꯤ ꯐꯤꯜꯃ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯂꯁꯤꯡꯒꯤ ꯃꯅꯨꯡꯗꯥ ꯑꯁꯣꯏ-ꯑꯉꯥꯝ ꯌꯥꯑꯣꯗꯕꯥ ꯂꯧꯊꯣꯛꯅꯕꯥ ꯏꯠꯔꯤꯝ ꯐ꯭ꯂꯨꯑꯣꯔꯥꯏꯗ, ꯀꯦꯂꯁꯤꯌꯝ ꯏꯠꯔꯤꯝ ꯐ꯭ꯂꯨꯑꯣꯔꯥꯏꯗ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯖꯤꯉ꯭ꯛ ꯁꯦꯂꯦꯅꯥꯏꯗ ꯐꯤꯜꯃ ꯃꯦꯇꯔꯤꯑꯦꯂꯁꯤꯡꯗꯥ ꯄꯥꯡꯊꯣꯀꯏ꯫
ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯁꯟ ꯐꯤꯜꯃ ꯂꯦꯌꯔ: ꯑꯍꯥꯅꯕꯥ ꯏꯠꯔꯤꯝ ꯐ꯭ꯂꯨꯑꯣꯔꯥꯏꯗ ꯂꯦꯌꯔ, ꯏꯠꯔꯤꯝ ꯀꯦꯂꯁꯤꯌꯝ ꯐ꯭ꯂꯨꯑꯣꯔꯥꯏꯗ ꯂꯦꯌꯥꯔ, ꯖꯤꯉ꯭ꯛ ꯁꯦꯂꯦꯅꯥꯏꯗ ꯂꯦꯌꯥꯔ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯅꯤꯁꯨꯕꯥ ꯏꯠꯔꯤꯝ ꯐ꯭ꯂꯨꯑꯣꯔꯥꯏꯗ ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯑꯁꯤ ꯚꯦꯛꯌꯨꯝ ꯏꯚꯥꯄꯣꯔꯦꯁꯟ ꯇꯧꯗꯨꯅꯥ 3 ± 0.1mmꯒꯤ ꯊꯣꯡꯅꯥꯎ ꯂꯩꯕꯥ ꯖꯤꯉ꯭ꯛ ꯁꯦꯂꯦꯅꯥꯏꯗ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯂꯦꯌꯥꯔ ꯑꯃꯗꯥ ꯁꯤꯀꯨꯑꯦꯟꯁꯤꯑꯦꯜ ꯑꯣꯏꯅꯥ ꯗꯤꯄꯣꯖꯤꯠ ꯇꯧꯏ꯫ ꯂꯦꯌꯔ ꯈꯨꯗꯤꯡꯃꯛꯀꯤ ꯀꯚꯔꯦꯖ ꯑꯦꯔꯤꯌꯥ ꯑꯁꯤ ꯁꯕꯁ꯭ꯠꯔꯦꯠ ꯂꯦꯌꯔꯒꯤ ꯁꯔꯐꯦꯁ ꯑꯦꯔꯤꯌꯥꯒꯤ 95%ꯒꯤ ꯃꯊꯛꯇꯥ ꯂꯩ꯫ ꯂꯦꯌꯔ ꯈꯨꯗꯤꯡꯃꯛꯀꯤ ꯐꯤꯖꯤꯀꯦꯜ ꯊꯤꯀꯅꯦꯁꯀꯤ ꯃꯊꯧ ꯇꯥꯕꯁꯤꯡ ꯑꯁꯤ ꯃꯈꯥꯗꯥ ꯄꯤꯔꯤ: ꯑꯍꯥꯅꯕꯥ ꯏꯠꯔꯤꯝ ꯐ꯭ꯂꯨꯑꯣꯔꯥꯏꯗ ꯂꯦꯌꯔꯒꯤ ꯐꯤꯖꯤꯀꯦꯜ ꯊꯤꯀꯅꯦꯁ ꯑꯁꯤ ꯅꯦꯅꯣꯃꯤꯇꯔ ꯹꯵-꯱꯰꯰ꯅꯤ; ꯏꯇꯔꯕꯤꯌꯝ ꯀꯦꯂꯁꯤꯌꯝ ꯐ꯭ꯂꯨꯑꯣꯔꯥꯏꯗ ꯂꯦꯌꯔꯒꯤ ꯐꯤꯖꯤꯀꯦꯜ ꯊꯤꯀꯅꯦꯁ ꯑꯁꯤ ꯅꯦꯅꯣꯃꯤꯇꯔ ꯸꯶꯰-꯸꯷꯰ꯅꯤ; ꯖꯤꯉ꯭ꯛ ꯁꯦꯂꯦꯅꯥꯏꯗ ꯂꯦꯌꯔꯒꯤ ꯐꯤꯖꯤꯀꯦꯜ ꯊꯤꯀꯅꯦꯁ ꯑꯁꯤ ꯅꯦꯅꯣꯃꯤꯇꯔ ꯲꯴꯰-꯲꯵꯰ꯅꯤ; ꯑꯅꯤꯁꯨꯕꯥ ꯏꯠꯔꯤꯝ ꯐ꯭ꯂꯨꯑꯣꯔꯥꯏꯗ ꯂꯦꯌꯔꯒꯤ ꯐꯤꯖꯤꯀꯦꯜ ꯊꯤꯀꯅꯦꯁ ꯑꯁꯤ ꯹꯵-꯱꯰꯰ ꯅꯦꯅꯣꯃꯤꯇꯔꯅꯤ꯫
ꯇꯦꯛꯅꯣꯂꯣꯖꯤꯒꯤ ꯑꯣꯏꯕꯥ ꯀꯥꯟꯅꯕꯥ ꯐꯪꯕꯁꯤꯡ .
ꯁꯦꯝ ꯁꯥꯔꯕꯥ ꯑꯦꯟꯇꯤ ꯔꯤꯐ꯭ꯂꯦꯛꯁꯟ ꯃꯦꯝꯕ꯭ꯔꯦꯟ ꯑꯁꯤꯅꯥ ꯑꯆꯝꯕꯥ ꯁ꯭ꯠꯔꯀꯆꯔ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯊꯣꯏꯕꯥ ꯗꯤꯖꯥꯏꯟ ꯑꯃꯥ ꯂꯩ꯫ ꯂꯦꯌꯔ ꯃꯔꯤꯒꯤ ꯀꯝꯕꯤꯅꯦꯁꯟ ꯑꯁꯤꯅꯥ ꯑꯋꯥꯡꯕꯥ ꯇꯦꯝꯄꯦꯔꯦꯆꯔ ꯔꯦꯁꯤꯁ꯭ꯇꯦꯟꯁ, ꯑꯋꯥꯡꯕꯥ ꯇ꯭ꯔꯥꯟꯁꯃꯤꯇꯦꯟꯁ, ꯐꯔꯝ ꯃꯦꯝꯕ꯭ꯔꯦꯟ ꯂꯦꯌꯔ, ꯃꯦꯝꯕ꯭ꯔꯦꯟ ꯂꯦꯌꯔꯁꯤꯡꯒꯤ ꯃꯔꯛꯇꯥ ꯀꯝꯄꯂꯤꯃꯦꯟꯇꯦꯔꯤ ꯁ꯭ꯠꯔꯦꯁ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯃꯦꯝꯕ꯭ꯔꯦꯟ ꯂꯦꯌꯔꯁꯤꯡꯒꯤ ꯅꯟ-ꯔꯄꯆꯔꯒꯤ ꯃꯑꯣꯡ ꯃꯇꯧꯁꯤꯡ ꯂꯩ꯫ ꯃꯁꯤꯅꯥ ꯑꯋꯥꯡꯕꯥ ꯇꯦꯝꯄꯦꯔꯦꯆꯔꯒꯤ ꯀꯟꯗꯤꯁꯅꯁꯤꯡꯗꯥ ꯀꯝꯄꯣꯅꯦꯟꯇꯁꯤꯡꯒꯤ ꯂꯦꯞꯇꯅꯥ ꯑꯣꯄꯔꯦꯁꯟ ꯇꯧꯕꯥ ꯌꯥꯏ, ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯂꯦꯌꯔ ꯈꯨꯗꯤꯡꯃꯛꯇꯥ ꯁꯤꯖꯤꯟꯅꯔꯤꯕꯥ ꯃꯆꯥꯀꯁꯤꯡ ꯑꯁꯤ ꯅꯟ-ꯔꯦꯗꯤꯑꯣꯑꯦꯛꯇꯤꯚ ꯑꯣꯏ, ꯃꯁꯤꯅꯥ ꯑꯣꯄꯔꯦꯇꯔꯁꯤꯡ ꯑꯃꯁꯨꯡ ꯑꯀꯣꯌꯕꯗꯥ ꯑꯃꯥꯡ-ꯑꯇꯥ ꯊꯣꯀꯍꯜꯂꯣꯏ꯫